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半導體行業用超純水設備 半導體、集成電路芯片制造及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業、大規模、大規模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，對水質的要求也越高。目前我國電子工業部把電子級水質技術分為五個行業標準，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區分不同水質。
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